MEMS 3D-Lorentzkraft-Magnetometer Sensorelement mit innovativem multiaxialen Betriebsprinzip und neuartigem Ausleseverfahren (3DLKM)

Forschungsziel des Projekts ist die Entwicklung eines triaxial sensitiven MEMS-Magnetfeldsensors auf Basis eines innovativen Messprinzips in Kombination mit einem neuartigen Ausleseverfahren. Im Fokus steht dabei die Performance im Hinblick auf Linearität, Messbereich und magnetische Hysterese, wobei gleichzeitig eine geringe Baugröße und niedrige Fertigungskosten angestrebt werden.

Das Forschungsprojekt hat zwei übergeordnete Schwerpunkte, zum einen das Design des MEMS-Sensorelements und zum anderen die Entwicklung der darauf abgestimmten Auswerteelektronik (ASIC). Ziel ist es, durch die Integration von Sensorelement und ASIC ein Funktionsmuster zur Verfügung stellen zu können.

Arbeitsschwerpunkte in der MEMS-Sensorelement-Entwicklung:

  • Elemententwurf (analytisch, FEM)
  • Waferlayout
  • Mikrotechnologische Prozessierung, AVT
  • Aufbau, Verifikation und Test der Messumgebung
  • Verifikation und Test

Arbeitsschwerpunkte in der Elektronik-Entwicklung:

  • Design Auswertelektronik
  • Implementierung und Verifikation ASIC
  • Verifikation von Sensorelementen in Verbindung mit ASIC
  • Demonstratoraufbau/Funktionsmuster
  • Validierung Funktionsmuster

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PROJEKTFUSSNOTE:

Fördergeber/Finanzierung: AiF - Arbeitsgemeinschaft industrieller Forschungsvereinigungen "Otto von Guericke" e.V., IGF, Bundesministerium für Wirtschaft und Energie
Fördernummer: 18631 N
Laufzeit: 01.08.2016 bis 31.01.2019
Kooperationspartner: Fritz-Hüttinger-Professur für Mikroelektronik am Institut für Mikrosystemtechnik (IMTEK) der Universität Freiburg
Reifegrad: Forschung > Funktionsmuster

Kontakt

M.Sc. Helena Biegler
Hahn-Schickard,
Villingen-Schwenningen
Tel.: +49 7721 943-154
Helena.Biegler@Hahn-Schickard.de
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