Inertiale Messtechnik

Multiaxiale Bewegungssimulation zur Charakterisierung von inertialen Sensoreinheiten

Die Charakterisierung dieser mehrachsigen Inertialsensorsysteme stellt vergleichsweise hohe Anforderungen an die zugrundeliegende Messtechnik. So müssen alle Bewegungen hochpräzise ausgeführt werden, da selbst kleine Regelschwingungen von den vermessenen Sensoren detektiert werden können. Die Achsen müssen präzise zueinander ausgerichtet sein, um ein Auftreten von Achsquerempfindlichkeiten zu vermeiden.

Neben 6–Zoll-Waferprobern, 1-Achsen-Drehtischen mit Temperaturkammer oder Vakuumkammer, einem zweiaxialen Linearbeschleunigungstisch mit zwei zusätzlich implementierten Rotationsachsen, diversen Kalibrierschwingern und Klimaprüfkammern, steht uns als einem der wenigen unabhängigen Forschungseinrichtungen in Europa, als Messequipment ein 3-Achsen-Drehtisch mit integrierter Temperaturkammer zur Verfügung. Damit lassen sich simultane Drehbewegungen in allen drei Raumrichtungen bei gleichzeitiger Kontrolle der Umgebungstemperatur durchführen.

Weiterhin verfügen wir über ein 3D-Mikrosystem-Analysegerät mit dem wir in Kombination mit einer Vakuumkammer das Schwingverhalten der MEMS-Komponenten mit einer Auflösung <1nm in allen drei Raumachsen analysieren können. 

Aufgrund der applikationsspezifisch automatisierten Messabläufe können Charakterisierungen von Sensorsystemen zeitoptimiert durchgeführt werden. Gerne entwickeln wir für Ihre Sensorsysteme geeignete Messabläufe und charakterisieren für Sie Ihre Produkte.

Kontakt


Dipl.-Ing. (FH) Martin Trächtler
Hahn-Schickard,
Villingen-Schwenningen
Tel.: +49 7721 943-226
Martin.Traechtler@Hahn-Schickard.de
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