Prozessentwicklung und -transfer

Vom Design-Support über die Erstellung des Maskenlayouts bis hin zur Fertigung erster Prototypen

Sämtliche technologischen Prozesse der Silizium-Mikromechanik stehen in unserem Reinraum als stabile und qualifizierte Standardprozesse zur Verfügung. Diese bilden die Grundlage für bauteilspezifische Prozessfolgen zur Herstellung mikromechanische Komponenten. Unser Dienstleistungsangebot umfasst dabei die komplette Entwicklung des Herstellungsprozesses vom Design Support über die Erstellung des Maskenlayouts bis hin zur Fertigung erster Prototypen. Eine Serienfertigung von Siliziumchips ist bei uns nach Abschluss der Entwicklung auch für Stückzahlen zwischen 100.000 und 1 Million pro Jahr möglich. 

Durch die kontinuierliche Abstimmung der technologischen Prozesse mit großen Chiplieferanten im MEMS-Bereich kann das bei uns entwickelte Herstellungsverfahren in die Massenfertigung überführt werden. Neben Neuentwicklungen von Herstellungsverfahren sind auch Design-Rules zu den bei uns im Haus implementierten Prozessen erhältlich. Damit besteht für den Anwender die Möglichkeit, einen bereits bestehenden Prozess zur Herstellung seiner Designs zu nutzen. Unter Einsparung von Initialisierungskosten können somit zeitnah erste Demonstratoren und Prototypen gefertigt werden.

Kontakt

Dipl.-Phys. Peter Nommensen
Hahn-Schickard,
Villingen-Schwenningen
Tel.: +49 7721 943-225
Peter.Nommensen@Hahn-Schickard.de
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Heiko Trautner
Hahn-Schickard,
Villingen-Schwenningen
Tel.: +49 7721 943-239
Heiko.Trautner@Hahn-Schickard.de
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